Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций
Бахрушин В.Е.
Монография. - Запорожье, ЗИГМУ, 2001. - 248 с.В монографии рассматриваются вопросы термодинамики неидеальных разбавленных твердых растворов, общие закономерности формирования физических свойств слаболегированных кристаллов, содержащих неконтролируемые примеси и дефекты структуры, физические основы процессов получения и физические свойства слаболегированных слоев кремниевых композиций, их структурное совершенство, методы измерения и контроля физических свойств, влияние неконтролируемых фоновых примесей на физические свойства слаболегированных слоев кремниевых и германиевых композиций.
Κατηγορίες:
Γλώσσα:
russian
ISBN 10:
9669592151
ISBN 13:
9789669592156
Αρχείο:
PDF, 4.36 MB
IPFS:
,
russian0